什么是二次配
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发布时间:2025-01-24 01:04:41
二次配是指 将公用工程系统(如超纯水、特气、化学品、电力等)从主系统分配到各个工艺设备的使用点的过程。这个过程需要确保资源稳定、安全、高效地输送,以满足生产工艺的要求。在半导体生产线中,二次配系统是正常运行的基础设施,其设计和配置直接影响到生产线的稳定性、产品品质和生产成本。
具体来说,二次配涉及以下方面:
布置和走向:
二次配管一般是在主管道和工艺设备安装完毕之后进行的,在三维空间固定了两点(起点和终点),用管道将这两点连接起来。因此,其布置和走向比较自由。
涉及系统多:
二次配管设计的系统一般都比较多,所涉及的系统包括气体、工艺冷却水、超纯水、废水和化学废液、排气等五大类。
材料种类多:
二次配管涉及的材料种类也较多,需要根据具体工艺需求选择合适的管道材料和连接方式。
综上所述,二次配是确保半导体生产线中各种资源稳定、安全、高效输送的重要环节,其设计和配置对于生产线的成功运行至关重要。